納米加工選用電子束光刻的參數(shù)

發(fā)布日期：2022-05-24      瀏覽次數(shù)：1844

 

企業(yè)介紹：Raith 是納米加工、電子束光刻、FIB SEM 納米加工、納米工程和逆向工程應用的精密技術制造商。
客戶包括涉及納米技術研究和材料科學各個領域的和其他組織，以及將納米技術用于特定產品應用或生產化合物半導體的工業(yè)和中型企業(yè)。
Raith 成立于 1980 年，總部位于德國多特蒙德，擁有 250 多名員工

英國raith電子束光刻應用：化合物半導體器件

光電

衍射光學元件

集成電路分析

納米科學

微工程和納米工程

量子技術

納米光子學


英國raith電子束光刻產品：
電子束光刻系統(tǒng)
EBL系統(tǒng)
FIB-SEM系統(tǒng)
大面積SEM成像
納米光刻升級套件
無掩模激光光刻系統(tǒng)

英國raith電子束光刻產品型號：
EBPG Plus
VOYAGER
Raith150
eLINE Plus
PIONEER Two

英國raith電子束光刻產品描述：
具有分辨率和熱屏蔽的電子束寫入器
RAITH150 Two 已成為通用高分辨率電子束光刻系統(tǒng)的產品。它在的研究和納米技術得到應用，并已證明其在24/7 全天候使用中的穩(wěn)健性。RAITH150 兩電子束寫入器旨在幫助從面向單一器件的研究向小批量納米器件制造的過渡，從而彌合學術和工業(yè)研發(fā)之間在工業(yè)設備原型設計方面的差距應用程序。

·
產品屬性
分辨率電子束光刻
·自動晶圓級電子束寫入
·30 kV Gemini 柱技術
·低電壓曝光和成像
·隔熱罩，和
·*的分室設置，
RAITH150 Two 可以曝光小于 5 nm的結構，適用于從幾毫米到8 英寸晶圓的樣品尺寸。
憑借其低 kV 成像能力，RAITH150 兩電子束寫入器還允許對表面敏感的高分辨率檢測和過程控制。利用 SEM 成像和尺寸計量的所有軟件功能，可以使用與器件制造相同的工具有效地縮短器件優(yōu)化過程。

特點：
線寬
數(shù)字模式發(fā)生器
樣品處理
≤8納米
20兆赫